多晶硅生产废气处理工艺
来源期刊：世界有色金属2014年第4期
论文作者：杨永亮 张志刚 严大洲 肖荣晖 汤传斌
文章页码：32 - 33
摘 要：针对多晶硅生产废气难以处理的问题,采用全新工艺回收生产废气中的氯硅烷,同时以氯化钙晶体的形式回收废气中的氯元素,降低外排废水中氯离子含量,创造环保和经济双重效益。
杨永亮，张志刚，严大洲，肖荣晖，汤传斌
中国恩菲工程技术有限公司
摘 要：针对多晶硅生产废气难以处理的问题,采用全新工艺回收生产废气中的氯硅烷,同时以氯化钙晶体的形式回收废气中的氯元素,降低外排废水中氯离子含量,创造环保和经济双重效益。
关键词：
