激光刻蚀工艺对Al2O3-ZrO2固溶度和结晶度的影响
来源期刊：无机材料学报2006年第3期
论文作者：黄文旻 杨修春
关键词：激光刻蚀; Al2O3-ZrO2固溶度; 结晶度; 无序度;
摘 要：利用X射线衍射,X射线吸收精细结构谱和高分辨电镜研究了激光刻蚀工艺对Al2O3-ZrO2固溶度和结晶度的影响.结果表明,Al2O3在ZrO2中的固溶度越大,ZrO2晶体结构无序度越大.样品室的空气压力越大,粉体中无定形相的含量越大.无定形ZrO2中存在短程有序-长程无序结构Zr-O-Zr(Al).同Al2O3-ZrO2固溶体相比,无定形ZrO2具有更短的Zr-O和Zr-Zr(Al)原子间距离和更大的无序度.
黄文旻1，杨修春1
(1.同济大学材料科学与工程学院,上海,200092)
摘要:利用X射线衍射,X射线吸收精细结构谱和高分辨电镜研究了激光刻蚀工艺对Al2O3-ZrO2固溶度和结晶度的影响.结果表明,Al2O3在ZrO2中的固溶度越大,ZrO2晶体结构无序度越大.样品室的空气压力越大,粉体中无定形相的含量越大.无定形ZrO2中存在短程有序-长程无序结构Zr-O-Zr(Al).同Al2O3-ZrO2固溶体相比,无定形ZrO2具有更短的Zr-O和Zr-Zr(Al)原子间距离和更大的无序度.
关键词:激光刻蚀; Al2O3-ZrO2固溶度; 结晶度; 无序度;
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