沉积温度对铝化物涂层相结构与微观形貌的影响
来源期刊:腐蚀与防护2013年第11期
论文作者:许振华 戴建伟 牛静 何利民 牟仁德 王凯
文章页码:991 - 996
关键词:化学气相沉积;铝化物;温度;相结构;微观形貌;
摘 要:采用化学气相沉积技术在四种不同沉积温度下制备了铝化物涂层,采用X-射线衍射仪、扫描电子显微镜和能谱仪研究了不同沉积温度下涂层的相结构、微观形貌和成分。结果表明,涂层的相结构、微观形貌和成分受沉积温度的影响明显。沉积温度越高,涂层越趋于形成均质的β-NiAl相,涂层表面多边形网格状形貌越均匀,网格内晶粒生长越密实。扩散区内富集大量的铬、钼和钨元素,其相应的析出物会形成扩散障碍层。
许振华1,戴建伟1,牛静2,何利民1,牟仁德1,王凯1
1. 北京航空材料研究院2. 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司
摘 要:采用化学气相沉积技术在四种不同沉积温度下制备了铝化物涂层,采用X-射线衍射仪、扫描电子显微镜和能谱仪研究了不同沉积温度下涂层的相结构、微观形貌和成分。结果表明,涂层的相结构、微观形貌和成分受沉积温度的影响明显。沉积温度越高,涂层越趋于形成均质的β-NiAl相,涂层表面多边形网格状形貌越均匀,网格内晶粒生长越密实。扩散区内富集大量的铬、钼和钨元素,其相应的析出物会形成扩散障碍层。
关键词:化学气相沉积;铝化物;温度;相结构;微观形貌;