溶胶-凝胶法制备氧化硅光学减反射膜
来源期刊：材料导报2013年第9期
论文作者：孙菁华 吕海兵 吴东 徐耀 袁晓东
文章页码：15 - 56
关键词：溶胶-凝胶;氧化硅;光学减反射膜;高功率激光系统;
摘 要：综述了溶胶-凝胶光学减反射膜的应用背景及光学原理,系统讨论了溶胶-凝胶氧化硅减反射膜的完整制备工艺以及薄膜在使用过程中的主要性能评价指标,最后展望了薄膜的未来发展趋势。
孙菁华1,2,3，吕海兵1，吴东2，徐耀2，袁晓东1
1. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心2. 中国科学院山西煤炭化学研究所,中国科学院炭材料重点实验室3. 中国科学院大学
摘 要：综述了溶胶-凝胶光学减反射膜的应用背景及光学原理,系统讨论了溶胶-凝胶氧化硅减反射膜的完整制备工艺以及薄膜在使用过程中的主要性能评价指标,最后展望了薄膜的未来发展趋势。
关键词：溶胶-凝胶;氧化硅;光学减反射膜;高功率激光系统;
