小尺度材料的疲劳研究进展
来源期刊：金属学报2005年第1期
论文作者：王中光 张广平
关键词：小尺度材料; 疲劳损伤; 尺寸效应; 位错结构;
摘 要：小尺度材料广泛应用于微电子机械系统及大规模集成电路等微/纳米系统中.由于这些材料的几何尺度和微观结构尺度均在微米至纳米范围,它们对位错行为的约束作用以及表面和界面的影响导致了其疲劳行为与块体材料不同.本文就近年来国内外开展的有关小尺度材料(如薄膜材料)疲劳实验方法、循环形变行为、疲劳裂纹的萌生以及扩展行为进行了综述,对相关的疲劳尺寸效应及机理进行了探讨,并对今后这一领域的研究前景及方向进行了展望.
王中光1，张广平1
(1.中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,沈阳,110016)
摘要:小尺度材料广泛应用于微电子机械系统及大规模集成电路等微/纳米系统中.由于这些材料的几何尺度和微观结构尺度均在微米至纳米范围,它们对位错行为的约束作用以及表面和界面的影响导致了其疲劳行为与块体材料不同.本文就近年来国内外开展的有关小尺度材料(如薄膜材料)疲劳实验方法、循环形变行为、疲劳裂纹的萌生以及扩展行为进行了综述,对相关的疲劳尺寸效应及机理进行了探讨,并对今后这一领域的研究前景及方向进行了展望.
关键词:小尺度材料; 疲劳损伤; 尺寸效应; 位错结构;
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