狭缝法化学气相沉积石墨烯:合成,形貌与结构

来源期刊：新型炭材料2018年第6期

论文作者：樊姝婧 谭瑞轩 谢翔旻 张明瑜 黄启忠

文章页码：522 - 528

关键词：石墨烯;化学气相沉积;狭缝;石墨烯成核密度;形貌;

摘    要：控制石墨烯成核密度和石墨烯层数一直是生长单晶石墨烯的重要问题。本文采用一种改进的化学气相沉积法,在中压状态下（5. 5 Torr）,以自制石墨模具（狭缝）为生长石墨烯的反应容器,制备出了成核密度低的单层石墨烯。利用扫描电镜和拉曼光谱仪对石墨烯的形貌和结构进行了表征,并研究了在1 253 K时以甲烷为碳源,不同沉积时间对石墨烯形貌的影响。结果表明,在V_CH4∶V_H2=1∶15、沉积时间为20 min条件下获得单层石墨烯。随着沉积时间的延长,获得的石墨烯尺寸变大,但层数增多。