电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度
来源期刊：金属学报2003年第9期
论文作者：孙超 纪爱玲 汪爱英 闻立时 汪伟 宋贵宏
关键词：Cr2O3薄膜; 电弧离子镀; 组织结构; 脉冲偏压;
摘 要：采用电弧离子镀方法在不锈钢基体上沉积Cr2O3薄膜.研究了氧流量和脉冲偏压对薄膜相结构、沉积速率、表面形貌、薄膜硬度的影响.结果表明,氧流量和脉冲偏压对薄膜的相结构有较大的影响.在氧流量为130 cm3/s、脉冲偏压为100V时,出现Cr2O3{001}面择优取向;氧流量增高,脉冲偏压增大时,薄膜的表面形貌得到改善;在脉冲偏压为-200 V、氧流量为130 cm3/s时,可获得符合Cr2O3化学计量比的薄膜,其硬度达到36 GPa.
孙超1，纪爱玲1，汪爱英1，闻立时1，汪伟1，宋贵宏1
(1.中国科学院金属研究所,沈阳,110016)
摘要:采用电弧离子镀方法在不锈钢基体上沉积Cr2O3薄膜.研究了氧流量和脉冲偏压对薄膜相结构、沉积速率、表面形貌、薄膜硬度的影响.结果表明,氧流量和脉冲偏压对薄膜的相结构有较大的影响.在氧流量为130 cm3/s、脉冲偏压为100V时,出现Cr2O3{001}面择优取向;氧流量增高,脉冲偏压增大时,薄膜的表面形貌得到改善;在脉冲偏压为-200 V、氧流量为130 cm3/s时,可获得符合Cr2O3化学计量比的薄膜,其硬度达到36 GPa.
关键词:Cr2O3薄膜; 电弧离子镀; 组织结构; 脉冲偏压;
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