金刚线切割多晶硅制绒研究进展

李绍元^1,2,3，洪世豪^1,2，杨玺^4,3，邹宇新¹

1. 昆明理工大学冶金与能源工程学院2. 昆明理工大学复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室3. 昆明理工大学新能源研究院4. 云南省能源研究院有限公司

摘 要：金刚线切割是一种高效率、低成本的硅片切割技术,然而与传统酸法(HF/HNO3)制绒工艺不兼容的问题极大地阻碍了其在多晶硅片切割领域的大规模化应用.研究新一代高效率、低成本的金刚线切割多晶硅制绒技术对太阳能电池提效降本具有重要意义.本文较为全面地综述了金刚线切割技术的运用现状和问题,对当前较为主流的几种制绒技术(直接制绒技术、气相刻蚀法、反应离子刻蚀和金属辅助化学刻蚀)从制绒原理、技术特点和各自的研究和应用现状等方面进行对比分析.相比较而言,金属铜辅助化学刻蚀技术具有刻蚀效率高、操作简单,且能在硅表面形成均匀的倒金字塔黑硅绒面等优势,而有望成为金刚线切割多晶硅制绒技术的新方法.

关键词：金刚线切割;多晶硅制绒;黑硅技术;倒金字塔结构;