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溶胶-凝胶提拉法制备光导型日盲区紫外探测器

来源期刊：稀有金属材料与工程2004年增刊第1期

论文作者：何作鹏杜娟孙兰侠王玮范镓季振国

关键词：溶胶凝胶; 氧化镓:紫外探测器:日盲;

摘要：利用溶胶凝胶法制备了Ga2O3和InxGa2-xO3薄膜,对其晶体结构、光探测性能等进行了研究,并制作了1个基于上述氧化镓薄膜的光导型紫外探测器.实验结果表明,Ga2O3是很好的光导型日盲紫外探测材料之一.

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何作鹏¹，杜娟¹，孙兰侠¹，王玮¹，范镓¹，季振国¹

(1.浙江大学,硅材料国家重点实验室,杭州,310027)

摘要:利用溶胶凝胶法制备了Ga2O3和InxGa2-xO3薄膜,对其晶体结构、光探测性能等进行了研究,并制作了1个基于上述氧化镓薄膜的光导型紫外探测器.实验结果表明,Ga2O3是很好的光导型日盲紫外探测材料之一.

关键词:溶胶凝胶; 氧化镓:紫外探测器:日盲;

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