CVD金刚石薄膜的织构分析
来源期刊：工程科学学报2000年第3期
论文作者：毛卫民 陈楠
文章页码：259 - 261
关键词：金刚石薄膜;面织构;化学气相沉积;织构生成;
摘 要：采用极图和取向分布函数法分析CVD金刚石薄膜的不同织构．分析表明，高的多重性因子使得｛110｝面织构有更高的出现概率．具体分析了｛221｝面织构出现的孪生机制，强调了织构与性能关系研究的重要性，并推荐使用先进织构分析手段．
毛卫民，陈楠
摘 要：采用极图和取向分布函数法分析CVD金刚石薄膜的不同织构．分析表明，高的多重性因子使得｛110｝面织构有更高的出现概率．具体分析了｛221｝面织构出现的孪生机制，强调了织构与性能关系研究的重要性，并推荐使用先进织构分析手段．
关键词：金刚石薄膜;面织构;化学气相沉积;织构生成;
