太阳电池用掺氮直拉单晶硅中氧沉淀行为的研究
来源期刊：材料科学与工程学报2006年第5期
论文作者：杨德仁 阙端麟 席珍强 李勇 钟尧
关键词：直拉单晶硅; 氮; 氧沉淀;
摘 要：利用傅立叶红外光谱仪研究了掺氮直拉单晶硅(NCZ)和普通直拉单晶硅(CZ)的原生氧沉淀以及模拟太阳电池制备热处理工艺下的氧沉淀行为.结果发现,掺氮直拉单晶硅的原生氧沉淀浓度比普通直拉单晶硅的略高,这是因为氮在晶体生长过程中可以促进氧沉淀.但是在模拟太阳电池制备热处理工艺中掺氮直拉单晶硅和普通直拉单晶硅一样,没有氧沉淀产生.这表明在太阳电池的短时间热处理工艺中,氮不会对氧沉淀产生影响,不会影响磷吸杂的效果.
杨德仁1，阙端麟1，席珍强1，李勇1，钟尧2
(1.浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027;
2.中国空间技术研究院北京控制工程研究所,北京,100080)
摘要:利用傅立叶红外光谱仪研究了掺氮直拉单晶硅(NCZ)和普通直拉单晶硅(CZ)的原生氧沉淀以及模拟太阳电池制备热处理工艺下的氧沉淀行为.结果发现,掺氮直拉单晶硅的原生氧沉淀浓度比普通直拉单晶硅的略高,这是因为氮在晶体生长过程中可以促进氧沉淀.但是在模拟太阳电池制备热处理工艺中掺氮直拉单晶硅和普通直拉单晶硅一样,没有氧沉淀产生.这表明在太阳电池的短时间热处理工艺中,氮不会对氧沉淀产生影响,不会影响磷吸杂的效果.
关键词:直拉单晶硅; 氮; 氧沉淀;
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