简介概要

带能谱分析的扫描电子显微镜在电子封装失效分析中的应用

来源期刊：理化检验物理分册2011年第3期

论文作者：方嘉

文章页码：159 - 162

关键词：扫描电子显微镜;X射线能谱仪;电子封装;失效分析;

摘要：简要介绍了扫描电子显微镜和X射线能谱仪的特点、制样方法和工作方式。通过铜腐蚀、锡须、硫化银以及银迁移的失效实例,阐述了带能谱分析的扫描电子显微镜在电子封装失效分析中的应用。

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方嘉

上海汽车集团股份有限公司乘用车公司

关键词：扫描电子显微镜;X射线能谱仪;电子封装;失效分析;