AZ5214E反转光刻胶的性能研究及其在剥离工艺中的应用
来源期刊：功能材料2005年第3期
论文作者：吴清鑫 陈光红 罗仲梓 于映
关键词：AZ5214E; 反转:剥离;
摘 要：研究了AZ52ME反转光刻胶的性能并选择适当的工艺可制得利于剥离的倒台面,并将其应用于射频MEMS开关的制作中剥离厚2μm的金薄膜.用扫描电镜(SEM)测出胶的侧壁为倒台面.
吴清鑫1，陈光红1，罗仲梓2，于映1
(1.福州大学,电子系,福建,福州,350002;
2.厦门大学,萨本栋微机电中心,福建,厦门,361005)
摘要:研究了AZ52ME反转光刻胶的性能并选择适当的工艺可制得利于剥离的倒台面,并将其应用于射频MEMS开关的制作中剥离厚2μm的金薄膜.用扫描电镜(SEM)测出胶的侧壁为倒台面.
关键词:AZ5214E; 反转:剥离;
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