PVAC抑制PT铁电薄膜裂纹的研究
来源期刊：稀有金属材料与工程2005年增刊第2期
论文作者：任巍 李海燕 张良莹 郝海燕 姚熹 吴小清
关键词：金属有机物热分解; 聚醋酸乙烯酯; PbTiO3薄膜; 单层厚度; 抑制裂纹产生;
摘 要：用金属有机物热分解法,通过添加聚醋酸乙烯酯(PVAC),将PbTiO3(PT)薄膜的单层厚度提高到0.78μm;利用红外光谱、扫描电镜和XRD等分析手段研究了PT先驱体的反应机理、PT薄膜的表面形貌及相结构,讨论了PVAC抑制裂纹产生的原因.结果表明:PVAC能与钛酸四丁酯生成聚乙烯钛酸三丁酯,并且能与溶剂乙二醇乙醚形成氢键,这有利于立体网状结构的形成,这种网状结构增强了薄膜的弹性,抑制了裂纹的产生;同时PVAC的加入使PT薄膜的晶化温度从550℃降低到500℃.
任巍1，李海燕1，张良莹1，郝海燕1，姚熹1，吴小清1
(1.西安交通大学,陕西,西安,710049)
摘要:用金属有机物热分解法,通过添加聚醋酸乙烯酯(PVAC),将PbTiO3(PT)薄膜的单层厚度提高到0.78μm;利用红外光谱、扫描电镜和XRD等分析手段研究了PT先驱体的反应机理、PT薄膜的表面形貌及相结构,讨论了PVAC抑制裂纹产生的原因.结果表明:PVAC能与钛酸四丁酯生成聚乙烯钛酸三丁酯,并且能与溶剂乙二醇乙醚形成氢键,这有利于立体网状结构的形成,这种网状结构增强了薄膜的弹性,抑制了裂纹的产生;同时PVAC的加入使PT薄膜的晶化温度从550℃降低到500℃.
关键词:金属有机物热分解; 聚醋酸乙烯酯; PbTiO3薄膜; 单层厚度; 抑制裂纹产生;
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