真空量子效应力、静电力和残余应力联合作用下的微米/纳米微机电系统可靠性分析
来源期刊：稀有金属材料与工程2005年第10期
论文作者：周丽红 郑茂盛 任凤章 刘平
关键词：Casimir力; 静电力; 残余应力; 薄膜; 挠度行为; Casimir force; electrostatic force; residual stresses; film; deflection behavior;
摘 要：由于微米/纳米机电系统(MEMS/NEMS)尺寸方面的特点和制造方面的原因,当对其施加一静电场时,它除了受到静电力外还不可避免地受到真空量子效应力(Casimir力)和残余应力的作用.在这3种力的联合作用下,其变形行为也变得极为复杂.本文导出了微米/纳米微机电系统中桥式薄膜结构在这3种力联合作用下的挠度解析表达式.在不同条件下对其解进行了分析讨论.结果表明:大的残余拉应力将促使微桥薄膜的挠度出现波状行为.
周丽红1，郑茂盛2，任凤章1，刘平1
(1.河南科技大学,河南,洛阳,471004;
2.西安交通大学,陕西,西安,710049)
摘要:由于微米/纳米机电系统(MEMS/NEMS)尺寸方面的特点和制造方面的原因,当对其施加一静电场时,它除了受到静电力外还不可避免地受到真空量子效应力(Casimir力)和残余应力的作用.在这3种力的联合作用下,其变形行为也变得极为复杂.本文导出了微米/纳米微机电系统中桥式薄膜结构在这3种力联合作用下的挠度解析表达式.在不同条件下对其解进行了分析讨论.结果表明:大的残余拉应力将促使微桥薄膜的挠度出现波状行为.
关键词:Casimir力; 静电力; 残余应力; 薄膜; 挠度行为; Casimir force; electrostatic force; residual stresses; film; deflection behavior;
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