简介概要

圆柱形平面式磁控溅射靶的特点与设计原理

来源期刊：昆明理工大学学报(自然科学版)2000年第2期

论文作者：孙东明

文章页码：54 - 57

关键词：磁控溅射;靶;真空镀膜;

摘要：介绍了一种根据矩形平面靶的结构原理设计圆柱形、平面式磁控溅射靶的方法 .并对如何发挥圆柱形、平面式磁控溅射靶的优点进行了分析

详情信息展示

孙东明

昆明理工大学机电工程学院!云南昆明650093

摘要：介绍了一种根据矩形平面靶的结构原理设计圆柱形、平面式磁控溅射靶的方法 .并对如何发挥圆柱形、平面式磁控溅射靶的优点进行了分析

关键词：磁控溅射;靶;真空镀膜;