化学气相沉积法制备高纯钛工艺研究

来源期刊：轻金属2014年第7期

论文作者：王睿 唐晓宁 陈肖虎 李纪伟 李名新

文章页码：43 - 46

关键词：电子级高纯钛;单因素实验;热力学;动力学;

摘    要：介绍了卤化物热裂解法制备电子级高纯钛的工艺过程。采用单因素实验,研究了反应过程中反应时间、TiI2蒸汽压、卤化区温度以及裂解区温度的影响。同时,结合热力学及动力学分析得到适宜的工艺条件为:反应时间25小时;TiI2蒸汽压3³.5kPa;卤化区温度550⁸00℃;沉积区温度为1100¹200℃。在此条件下进行检验性实验,单次高纯钛产量超过3kg。产品经电镜扫描（SEM）观察,晶体横截面断口形貌整齐、规整,结晶情况良好。经电子束炉熔炼后的产品经辉光质谱（GDMS）检测,高纯钛中28种杂质元素总和小于2×10-3%。