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磁性微电子机械系统(MMEMS)的应用

来源期刊：磁性材料及器件2004年第6期

论文作者：耿笑炎石玉尉旭波张怀武

关键词：磁性MEMS; 传感器; 应用;

摘要：微电子机械系统(MEMS)技术结合磁性材料的特性,会产生许多新的功能,并在很多领域得到应用,如信息技术、汽车工业、生物医学,航空以及科学仪器等.本文阐述了在微米尺寸下,磁性MEMS相对于静电和压电执行器,在强度、偏振、执行距离等方面具有的优势,并就磁性MEMS现有及潜在的应用加以概述.

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耿笑炎¹，石玉¹，尉旭波¹，张怀武¹

(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054)

摘要:微电子机械系统(MEMS)技术结合磁性材料的特性,会产生许多新的功能,并在很多领域得到应用,如信息技术、汽车工业、生物医学,航空以及科学仪器等.本文阐述了在微米尺寸下,磁性MEMS相对于静电和压电执行器,在强度、偏振、执行距离等方面具有的优势,并就磁性MEMS现有及潜在的应用加以概述.

关键词:磁性MEMS; 传感器; 应用;

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