MEMS微型双稳态电磁继电器的设计
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第2期
论文作者：杨建中 张高飞 尤政 李慧娟
关键词：微机械系统; 微继电器; 平面螺旋线圈; 微机械加工工艺;
摘 要：本文利用通电平面螺旋线圈产生磁场特点,采用镜像绕制以及并联连接双线圈的方法,研制了一种快速低功耗MEMS微型双稳态继电器结构,其尺寸约为3mm*4.5mm*1.5mm,文中着重分析其工作原理和过程.经过分析,该继电器在通电电流80～120mA时,开关时间约在0.1ms～0.2ms之间,因此,其具有体积小、开关速度快、低功耗等优点,并且易于集成和阵列,适用于能源有限并且可靠性要求高的微型航天器以及便携设备中.
杨建中1，张高飞1，尤政1，李慧娟1
(1.清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084)
摘要:本文利用通电平面螺旋线圈产生磁场特点,采用镜像绕制以及并联连接双线圈的方法,研制了一种快速低功耗MEMS微型双稳态继电器结构,其尺寸约为3mm*4.5mm*1.5mm,文中着重分析其工作原理和过程.经过分析,该继电器在通电电流80～120mA时,开关时间约在0.1ms～0.2ms之间,因此,其具有体积小、开关速度快、低功耗等优点,并且易于集成和阵列,适用于能源有限并且可靠性要求高的微型航天器以及便携设备中.
关键词:微机械系统; 微继电器; 平面螺旋线圈; 微机械加工工艺;
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