多弧离子镀Ti-Al-Zr-Cr-N系双层膜的结构与力学性能
来源期刊：稀有金属材料与工程2016年第5期
论文作者：赵时璐 张震 张钧 王双红 张正贵
文章页码：1320 - 1324
关键词：多弧离子镀;(Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N;CrN/(Ti,Al,Zr,Cr)N;显微硬度;结合力;
摘 要：采用多弧离子镀技术和Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶,在WC-8%Co硬质合金基体上制备了（Ti,Al,Zr）N/（Ti,Al,Zr,Cr）N和Cr N/（Ti,Al,Zr,Cr）N 2种四元双层氮化物膜。利用扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDS）和X射线衍射仪（XRD）分析2种双层膜的微观组织、成分和结构;利用划痕仪和显微硬度计对比2种双层膜的力学性能。结果表明,获得的2种双层膜均具有B1-NaCl型的TiN面心立方结构;双层膜的组织均是典型的柱状晶结构;沉积偏压为–50–200 V时,双层膜的力学性能均优于（Ti,Al,Zr,Cr）N单层膜,并与Ti-Al-Zr-Cr-N系梯度膜的力学性能相当,同时（Ti,Al,Zr）N/（Ti,Al,Zr,Cr）N双层膜可获得更高的硬度(HV0.01最高值为41 GPa),而CrN/（Ti,Al,Zr,Cr）N双层膜可获得更强的膜层与基体间结合力（所有值均大于200 N）。
赵时璐1，张震2，张钧1，王双红1，张正贵1
1. 沈阳大学2. 华晨宝马汽车有限公司
摘 要：采用多弧离子镀技术和Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶,在WC-8%Co硬质合金基体上制备了（Ti,Al,Zr）N/（Ti,Al,Zr,Cr）N和Cr N/（Ti,Al,Zr,Cr）N 2种四元双层氮化物膜。利用扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDS）和X射线衍射仪（XRD）分析2种双层膜的微观组织、成分和结构;利用划痕仪和显微硬度计对比2种双层膜的力学性能。结果表明,获得的2种双层膜均具有B1-NaCl型的TiN面心立方结构;双层膜的组织均是典型的柱状晶结构;沉积偏压为–50–200 V时,双层膜的力学性能均优于（Ti,Al,Zr,Cr）N单层膜,并与Ti-Al-Zr-Cr-N系梯度膜的力学性能相当,同时（Ti,Al,Zr）N/（Ti,Al,Zr,Cr）N双层膜可获得更高的硬度(HV0.01最高值为41 GPa),而CrN/（Ti,Al,Zr,Cr）N双层膜可获得更强的膜层与基体间结合力（所有值均大于200 N）。
关键词：多弧离子镀;(Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N;CrN/(Ti,Al,Zr,Cr)N;显微硬度;结合力;
