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甲烷浓度对批量生产金刚石涂层刀片的影响

来源期刊：硬质合金2008年第3期

论文作者：余学超孙蕾满卫东谢鹏汪建华

关键词：金刚石涂层; 硬质合金刀片; 微波等离子体化学气相沉积; 甲烷浓度;

摘要：采用微波等离子体CVD(MWCVD)法小批量地生产了金刚石涂层刀片,在金刚石薄膜沉积的过程中,研究了碳源浓度对沉积金刚石膜的均匀性的影响.用扫描电子显微镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)对薄膜的表面形貌和质量进行了表征.结果表明较低的低甲烷浓度适合金刚石涂层刀片的批量生产.

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余学超¹，孙蕾¹，满卫东¹，谢鹏¹，汪建华¹

(1.武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北武汉,430073)

摘要:采用微波等离子体CVD(MWCVD)法小批量地生产了金刚石涂层刀片,在金刚石薄膜沉积的过程中,研究了碳源浓度对沉积金刚石膜的均匀性的影响.用扫描电子显微镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)对薄膜的表面形貌和质量进行了表征.结果表明较低的低甲烷浓度适合金刚石涂层刀片的批量生产.

关键词:金刚石涂层; 硬质合金刀片; 微波等离子体化学气相沉积; 甲烷浓度;

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