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低镜面反射硅镀膜玻璃的微结构调制

来源期刊：材料科学与工程学报2000年第4期

论文作者：韩高荣莫建良瞿浩明张溪文

关键词：镀膜玻璃; 漫散射; 硅微晶; silicon-coating glass; scattered reflection; silicon micro-crystalline grain;

摘要：通过反射率、透射率参量测试和高分辨电镜分析，研究了硅薄膜中微晶粒数量、尺寸和分布对镀膜玻璃镜面反射效果的影响。发现通过一定的热处理工艺可以调整硅膜中的晶粒状况，得到硅微晶粒数量众多、分布弥散且晶粒大小在数十至数百纳米的硅／非晶硅复合薄膜，使入射光产生漫散射进而有效降低镜面反射所造成的光污染。

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韩高荣¹，莫建良¹，瞿浩明¹，张溪文¹

(1.硅材料国家重点实验室，浙江大学，浙江杭州310027)

摘要:通过反射率、透射率参量测试和高分辨电镜分析，研究了硅薄膜中微晶粒数量、尺寸和分布对镀膜玻璃镜面反射效果的影响。发现通过一定的热处理工艺可以调整硅膜中的晶粒状况，得到硅微晶粒数量众多、分布弥散且晶粒大小在数十至数百纳米的硅／非晶硅复合薄膜，使入射光产生漫散射进而有效降低镜面反射所造成的光污染。

关键词:镀膜玻璃; 漫散射; 硅微晶; silicon-coating glass; scattered reflection; silicon micro-crystalline grain;

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