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金属钨溅射靶材制备及性能研究

来源期刊:世界有色金属2017年第10期

论文作者:高波 邵利峰 张惠丰

文章页码:249 - 250

关键词:钨靶;成型烧结;轧制;

摘    要:本文着重从金属钨靶的成型烧结工艺和轧制处理工艺两个角度来探讨金属钨靶的的综合性能,通过显微分析和性能测定来确定金属钨靶的最优工艺。

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金属钨溅射靶材制备及性能研究

高波,邵利峰,张惠丰

陕西中天火箭技术股份有限公司

摘 要:本文着重从金属钨靶的成型烧结工艺和轧制处理工艺两个角度来探讨金属钨靶的的综合性能,通过显微分析和性能测定来确定金属钨靶的最优工艺。

关键词:钨靶;成型烧结;轧制;

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