真空镀膜机靶电源的模糊控制系统
来源期刊：机械设计与制造2004年第4期
论文作者：徐祖华
文章页码：27 - 28
关键词：模糊控制;电流闭环控制;靶电源;PLC;
摘 要：阐述了三靶真空镀膜机靶电源模糊控制系统,介绍了该系统的控制策略,由PLC的程序实现靶电流闭环模糊控制的硬件电路和相应的工艺运行程序,获得稳定的靶电流情况。
徐祖华
南华大学电气工程学院 衡阳421001
摘 要：阐述了三靶真空镀膜机靶电源模糊控制系统,介绍了该系统的控制策略,由PLC的程序实现靶电流闭环模糊控制的硬件电路和相应的工艺运行程序,获得稳定的靶电流情况。
关键词：模糊控制;电流闭环控制;靶电源;PLC;
