陶瓷微珠的抛光研究
来源期刊：稀有金属材料与工程2005年增刊第1期
论文作者：黄勇 张辛玥 杨金龙
关键词：陶瓷微珠; 抛光; CMP;
摘 要：通过对氧化铝、莫来石陶瓷微珠进行抛光研究.研究了不同抛光条件,水基、油基等不同基体,不同磨料对于微珠抛光效果的影响.证实氧化铈对微珠抛光有良好效果,并尝试从微观角度分析原因.
黄勇1，张辛玥1，杨金龙1
(1.清华大学材料科学与工程系,北京,100084)
摘要:通过对氧化铝、莫来石陶瓷微珠进行抛光研究.研究了不同抛光条件,水基、油基等不同基体,不同磨料对于微珠抛光效果的影响.证实氧化铈对微珠抛光有良好效果,并尝试从微观角度分析原因.
关键词:陶瓷微珠; 抛光; CMP;
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