使用冷场扫描电镜进行电子背散射衍射测试的困难与解决方法

来源期刊：理化检验物理分册2016年第7期

论文作者：高尚 杨海峰

文章页码：454 - 944

关键词：冷场扫描电镜;电子背散射衍射;半浸没式物镜;畸变矫正;

摘    要：针对部分冷场扫描电镜进行电子背散射衍射测试时遇到的困难和误区,指出冷场扫描电镜的束流与稳定性能够满足电子背散射衍射测试的表征要求。提出了针对半浸没式物镜的结构,应优先在低倍模式下进行电子背散射衍射测试,高倍模式下测试应使用磁场校正,并指出在低倍放大下应注意低倍位置校正的问题。对于冷场扫描电镜,通过以上方法,大部分电子背散射衍射测试都可以正常进行。