TiSiN纳米复合结构涂层的研究进展
来源期刊：机械工程材料2013年第6期
论文作者：赵永生 李伟 刘平 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华
文章页码：6 - 48
关键词：TiSiN涂层;纳米复合结构;制备工艺;研究进展;
摘 要：简要介绍了TiSiN纳米复合涂层的晶体结构,主要从涂层的性能、制备方法、硅含量以及其它元素掺杂的影响等方面综述了TiSiN纳米复合涂层的研究进展,最后对其存在的主要问题和今后的发展方向进行了总结和展望。
赵永生1，李伟2，刘平2，马凤仓2，刘新宽2，陈小红2，何代华2
1. 上海理工大学机械工程学院2. 上海理工大学材料科学与工程学院
摘 要：简要介绍了TiSiN纳米复合涂层的晶体结构,主要从涂层的性能、制备方法、硅含量以及其它元素掺杂的影响等方面综述了TiSiN纳米复合涂层的研究进展,最后对其存在的主要问题和今后的发展方向进行了总结和展望。
关键词：TiSiN涂层;纳米复合结构;制备工艺;研究进展;
