磁控溅射制备TiO2薄膜的亲水性能研究
来源期刊：材料科学与工程学报2004年第3期
论文作者：陈敏 张庆瑜 黄永刚 李长敏
关键词：TiO2薄膜; 磁控溅射; 亲水性; 表面微结构;
摘 要：用射频磁控溅射法在玻璃基片上制备TiO2薄膜,并分别在300℃、400℃、500℃下进行热处理.用紫外吸收光谱、原子力显微镜(AFM)、接触角测定等分析方法研究了制备工艺、热处理和紫外光照射时间对薄膜表面亲水性的影响.结果表明,经紫外光照射或热处理后的TiO2薄膜表面表现出明显的超亲水性,而制备工艺的变化对亲水性的影响不明显.光谱、AFM分析表明,导致薄膜表面亲水性的原因在于薄膜表面微结构的变化.
陈敏1，张庆瑜2，黄永刚3，李长敏1
(1.大连轻工业学院,材料科学与工程系,辽宁,大连,116034;
2.大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024;
3.大连轻工业学院,玻璃及无机新材料研究所,辽宁,大连,116034)
摘要:用射频磁控溅射法在玻璃基片上制备TiO2薄膜,并分别在300℃、400℃、500℃下进行热处理.用紫外吸收光谱、原子力显微镜(AFM)、接触角测定等分析方法研究了制备工艺、热处理和紫外光照射时间对薄膜表面亲水性的影响.结果表明,经紫外光照射或热处理后的TiO2薄膜表面表现出明显的超亲水性,而制备工艺的变化对亲水性的影响不明显.光谱、AFM分析表明,导致薄膜表面亲水性的原因在于薄膜表面微结构的变化.
关键词:TiO2薄膜; 磁控溅射; 亲水性; 表面微结构;
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