近红外波段光子晶体的微细加工方法研究进展
来源期刊：功能材料2003年第3期
论文作者：章宁琳 宋志棠 汪扬 林成鲁
关键词：光子晶体; 亚微米; 微细加工制备方法;
摘 要：光子晶体及其在光电子领域的应用是目前国际上的研究热点之一,是一种新型的光电子功能材料.在近红外光通讯领域中,光子晶体(对应光子晶体晶格常数为亚微米)有非常重要的应用,可以制作许多以前所不能制作的高性能光学器件.如何制备用于光通讯领域的光子晶体越来越引起广泛关注.本文综述了近红外波段光子晶体的微细加工制备方法的研究进展.
章宁琳1，宋志棠1，汪扬1，林成鲁1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050)
摘要:光子晶体及其在光电子领域的应用是目前国际上的研究热点之一,是一种新型的光电子功能材料.在近红外光通讯领域中,光子晶体(对应光子晶体晶格常数为亚微米)有非常重要的应用,可以制作许多以前所不能制作的高性能光学器件.如何制备用于光通讯领域的光子晶体越来越引起广泛关注.本文综述了近红外波段光子晶体的微细加工制备方法的研究进展.
关键词:光子晶体; 亚微米; 微细加工制备方法;
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