聚酰亚胺薄膜气相沉积的研究进展
来源期刊：材料导报2009年第21期
论文作者：寇开昌 王志超 赵春玲 吴广磊 晁敏
关键词：气相沉积聚合; 聚酰亚胺薄膜; 影响因素; 性能表征; 研究现状; 应用; vapor deposition polymerization; polyirnide; influence factors; representation of properties; re-search situation; application;
摘 要：综述了气相沉积聚合设备、制备过程、影响因素、性能表征方法及近年来国内外的研究现状.气相沉积聚合聚酰亚胺薄膜相比于传统湿法成型具有纯度高、无溶剂、膜厚可控、致密均匀、可在复杂表面成型等优点.展望了气相沉积的应用以及今后的发展前景.
寇开昌1，王志超1，赵春玲1，吴广磊1，晁敏1
(1.西北工业大学理学院应用化学系,西安,710129)
摘要:综述了气相沉积聚合设备、制备过程、影响因素、性能表征方法及近年来国内外的研究现状.气相沉积聚合聚酰亚胺薄膜相比于传统湿法成型具有纯度高、无溶剂、膜厚可控、致密均匀、可在复杂表面成型等优点.展望了气相沉积的应用以及今后的发展前景.
关键词:气相沉积聚合; 聚酰亚胺薄膜; 影响因素; 性能表征; 研究现状; 应用; vapor deposition polymerization; polyirnide; influence factors; representation of properties; re-search situation; application;
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