活化溅射法在NiTi合金上制备TiO2生物薄膜
来源期刊：东北大学学报(自然科学版)2013年第6期
论文作者：高淑春 翟玉春 姜妲 王秋实
文章页码：859 - 862
关键词：NiTi形状记忆合金;活化溅射;TiO2薄膜;溅射电压;
摘 要：采用活化溅射方法,在不同溅射电压条件下,在NiTi形状记忆合金表面成功制备出了纳米TiO2生物薄膜.采用台阶轮廓仪和拉曼光谱仪研究溅射电压对薄膜厚度和晶体结构的影响,并对NiTi合金覆膜前后在37℃模拟人体体液中的耐腐蚀性能进行了评价.结果表明,在本实验条件下薄膜为锐钛矿结构,薄膜表面均匀,其主要成分为纳米尺寸的TiO2;TiO2薄膜明显改善了NiTi合金在37℃模拟人体体液中的耐腐蚀性能.
高淑春1，翟玉春1，姜妲2，王秋实1
1. 东北大学材料与冶金学院2. 沈阳航空航天大学材料科学与工程学院
摘 要：采用活化溅射方法,在不同溅射电压条件下,在NiTi形状记忆合金表面成功制备出了纳米TiO2生物薄膜.采用台阶轮廓仪和拉曼光谱仪研究溅射电压对薄膜厚度和晶体结构的影响,并对NiTi合金覆膜前后在37℃模拟人体体液中的耐腐蚀性能进行了评价.结果表明,在本实验条件下薄膜为锐钛矿结构,薄膜表面均匀,其主要成分为纳米尺寸的TiO2;TiO2薄膜明显改善了NiTi合金在37℃模拟人体体液中的耐腐蚀性能.
关键词：NiTi形状记忆合金;活化溅射;TiO2薄膜;溅射电压;
