微间隙液体粘性阻力分析
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第1期
论文作者：侯利程 吴文蕾 戚伟俊 李科委 沈雪瑾
关键词：微机电系统; 微间隙平板; 液体粘性阻力;
摘 要：微谐振器是微机电系统中应用最广泛的器件之一,由于加工工艺和环境潮湿等原因,在微间隙结构中常常会有液体存在,从而产生液体粘性阻力,对可动部件的运动、微器件性能的发挥产生影响.通过液体粘性阻力的分析,建立了上平板做简谐振动的微间隙液体粘性阻力模型,进行了理论计算及仿真分析.结果表明:液体粘性阻力随着平板振动的频率、最大振动速度、流体密度、流体动力粘度以及平板面积的增大而增大,而仿真分析得出的边界层厚度和流体对平板的剪切应力与理论值基本符合.
侯利程1，吴文蕾1，戚伟俊1，李科委1，沈雪瑾1
(1.上海大学机械自动化系,上海,200072)
摘要:微谐振器是微机电系统中应用最广泛的器件之一,由于加工工艺和环境潮湿等原因,在微间隙结构中常常会有液体存在,从而产生液体粘性阻力,对可动部件的运动、微器件性能的发挥产生影响.通过液体粘性阻力的分析,建立了上平板做简谐振动的微间隙液体粘性阻力模型,进行了理论计算及仿真分析.结果表明:液体粘性阻力随着平板振动的频率、最大振动速度、流体密度、流体动力粘度以及平板面积的增大而增大,而仿真分析得出的边界层厚度和流体对平板的剪切应力与理论值基本符合.
关键词:微机电系统; 微间隙平板; 液体粘性阻力;
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