碳基场发射冷阴极材料的研究

徐东¹，蔡炳初¹，孙卓²，林仰魁¹，钱开友¹

(1.薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;
2.华东师范大学纳米功能材料与器件应用研究中心,上海,200062)

摘要:场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位.目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位.阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进其发射性能的措施,并对它们目前存在的问题及其应用前景进行了展望.

关键词:场发射冷阴极; 金刚石; 类金刚石; 碳纳米管;

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