使用三氧化钨薄膜之苯气体传感器
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第2期
论文作者：曾全佑 张金龙 李佳言 傅龙明 林秋丰
关键词：苯; 三氧化钨; 磁控溅镀; 微机电制程; 气体传感器;
摘 要：本文利用微机电(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)制程制作成三氧化钨薄膜苯气体传感器,其结构包含三氧化钨(WO3)感测层、白金(Pt)指叉式电极(包括加热及感测两部分).利用RF溅渡方式沉积出三氧化钨薄膜,再由退火处理来得到较多的孔洞结构来提升传感器的灵敏度,并使用蒸镀(E-beam)方式制作白金指叉式电极.再将微型传感器置于气体检测箱在200℃、250℃及300℃不同操作温度下观察苯浓度与感测层电阻值间的变化关系.
曾全佑1，张金龙1，李佳言2，傅龙明3，林秋丰1
(1.屏东科技大学车辆工程系,屏东,912;
2.大叶大学机械与自动化工程学系,彰化,515;
3.屏东科技大学材料工程系,屏东,912)
摘要:本文利用微机电(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)制程制作成三氧化钨薄膜苯气体传感器,其结构包含三氧化钨(WO3)感测层、白金(Pt)指叉式电极(包括加热及感测两部分).利用RF溅渡方式沉积出三氧化钨薄膜,再由退火处理来得到较多的孔洞结构来提升传感器的灵敏度,并使用蒸镀(E-beam)方式制作白金指叉式电极.再将微型传感器置于气体检测箱在200℃、250℃及300℃不同操作温度下观察苯浓度与感测层电阻值间的变化关系.
关键词:苯; 三氧化钨; 磁控溅镀; 微机电制程; 气体传感器;
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