简介概要

金刚石薄膜热导率的研究现状(英文)

来源期刊：材料导报2013年第S1期

论文作者：赵齐代明江韦春贝邱万奇侯惠君

文章页码：201 - 206

关键词：金刚石薄膜;热导率;晶粒尺寸;反应温度;

摘要：分析了金刚石薄膜热导率的声子导热机理,从金刚石薄膜晶体结构的角度总结了影响热导率的因素,例如晶界、晶内杂质、缺陷、晶粒尺寸、晶粒取向、同位素;从金刚石薄膜合成工艺角度探讨了影响金刚石薄膜热导率的因素,例如基底材料及预处理、合成温度、气源及添加气体(氧气、氮气)、工作压强、功率等。

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赵齐^1,2，代明江¹，韦春贝¹，邱万奇²，侯惠君¹

1. 广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)2. 华南理工大学材料科学与工程学院

关键词：金刚石薄膜;热导率;晶粒尺寸;反应温度;