高纯铝表面电抛光形成自组织图案的研究进展
来源期刊：腐蚀科学与防护技术2012年第3期
论文作者：马迪 李淑英
文章页码：245 - 248
摘 要：<正>近年来具有高度有序的自组织结构的多孔阳极氧化铝(AAO)膜得到广泛的应用[1,2],尤其是作为制备纳米材料的模板[3~5].传统的光刻技术主要包括紫外光刻或X射线光刻、电子束光刻和离子束光刻.以
马迪1，李淑英2
1. 江苏技术师范学院2. 大连理工大学
摘 要：<正>近年来具有高度有序的自组织结构的多孔阳极氧化铝(AAO)膜得到广泛的应用[1,2],尤其是作为制备纳米材料的模板[3~5].传统的光刻技术主要包括紫外光刻或X射线光刻、电子束光刻和离子束光刻.以
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