铁诱导低温SiC薄膜的合成
来源期刊：功能材料与器件学报2002年第3期
论文作者：于威 郑志远 傅广生 刘丽辉
关键词：SiC棒; HFCVD; 催化剂Fe; SiC nanorods; HFCVD; Fe catalyst;
摘 要：采用热丝化学气相沉积法,以铁作为催化剂,在较低的衬底温度合成纳米SiC薄膜.铁粒子是在400Pa氢气的气氛中,通过用脉冲激光烧蚀铁靶5min引入的.用扫描电镜和拉曼谱对样品进行了分析.扫描电镜观察到了直径为10-30nm,长度短于1μm的无序SiC棒.拉曼谱中的横向生子模式的红移表明生长方向的限制效应.所有这些说明Fe粒子的大小将影响到SiC棒的生长.
于威1，郑志远1，傅广生1，刘丽辉1
(1.河北大学物理科学与技术学院,保定071002)
摘要:采用热丝化学气相沉积法,以铁作为催化剂,在较低的衬底温度合成纳米SiC薄膜.铁粒子是在400Pa氢气的气氛中,通过用脉冲激光烧蚀铁靶5min引入的.用扫描电镜和拉曼谱对样品进行了分析.扫描电镜观察到了直径为10-30nm,长度短于1μm的无序SiC棒.拉曼谱中的横向生子模式的红移表明生长方向的限制效应.所有这些说明Fe粒子的大小将影响到SiC棒的生长.
关键词:SiC棒; HFCVD; 催化剂Fe; SiC nanorods; HFCVD; Fe catalyst;
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