基于SOI材料的兵器微电子技术应用分析
来源期刊：兵器材料科学与工程2005年第3期
论文作者：张新 邢昆山 王彩琳 安涛 高勇
关键词：SOI材料技术; SOI结构; 兵器微电子技术;
摘 要：随着集成技术进入亚微米阶段,传统的硅基集成电路由于存在闩锁等不利因素,使其应用受到了限制.而基于SOI材料的微电子技术是能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术[1],是国际半导体的前沿技术之一,是发展兵器装备用元器件的又一关键材料技术.介绍了SOI材料结构技术用于微电子器件的优势、SOI结构及基于SOI结构材料的兵器微电子技术应用,展望了SOI技术的发展前景.
张新1，邢昆山2，王彩琳1，安涛1，高勇1
(1.西安理工大学,自动化学院,陕西,西安,710048;
2.华东光电集成器件研究所,安徽,蚌埠,233042)
摘要:随着集成技术进入亚微米阶段,传统的硅基集成电路由于存在闩锁等不利因素,使其应用受到了限制.而基于SOI材料的微电子技术是能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术[1],是国际半导体的前沿技术之一,是发展兵器装备用元器件的又一关键材料技术.介绍了SOI材料结构技术用于微电子器件的优势、SOI结构及基于SOI结构材料的兵器微电子技术应用,展望了SOI技术的发展前景.
关键词:SOI材料技术; SOI结构; 兵器微电子技术;
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