基于磁控溅射制备纳米微晶NiOx薄膜的方法
来源期刊：材料研究学报2009年第4期
论文作者：王聪 王怀义 郝维昌 刁训刚 王武育 王天民
关键词：无机非金属材料; 磁控溅射; 纳米微晶态; 电致变色; NiOx薄膜;
摘 要：使用一种配套于磁控溅射设备的基片液氮冷却装置制备了小颗粒度纳米微晶NiOx电致变色薄膜.当溅射参数完全相同时,借助于对基片的冷却可有效控制并降低NiOx薄膜的晶粒尺度.冷却基片所制备的NiOx薄膜的电致变色性能明显优于室温时制备的薄膜,且该薄膜的O/Ni比率也明显高于室温时制备的NiOx薄膜的O/Ni比率.
王聪1，王怀义1，郝维昌1，刁训刚1，王武育3，王天民1
(1.北京航空航天大学理学院,北京,100083;
2.北京印刷学院基础部,北京,102617;
3.北京有色金属研究总院,北京,100088)
摘要:使用一种配套于磁控溅射设备的基片液氮冷却装置制备了小颗粒度纳米微晶NiOx电致变色薄膜.当溅射参数完全相同时,借助于对基片的冷却可有效控制并降低NiOx薄膜的晶粒尺度.冷却基片所制备的NiOx薄膜的电致变色性能明显优于室温时制备的薄膜,且该薄膜的O/Ni比率也明显高于室温时制备的NiOx薄膜的O/Ni比率.
关键词:无机非金属材料; 磁控溅射; 纳米微晶态; 电致变色; NiOx薄膜;
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