SU-8光刻胶玻璃化转变温度及力学性能的分子动力学模拟

尚海鑫^1,2，褚金奎^1,2，高佳丽^1,2

1. 大连理工大学教育部精密与特种加工重点实验室2. 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室

摘 要：基于COMPASS分子力场,经过分子聚合,能量最小化和退火模拟等构建SU-8光刻胶模型。利用分子动力学的研究方法,模拟研究了SU-8胶的玻璃化转变温度及其主要的影响因素;同时计算了在室温条件下交联SU-8胶的杨氏模量、泊松比、剪切模量、体积模量等力学性能。结果表明,模拟得到的玻璃化转变温度和力学性能与实验结果相一致;非键能是导致非交联SU-8胶玻璃化转变的主要因素之一。

关键词：SU-8光刻胶;分子动力学;玻璃化转变;力学性能;