介电材料在介电润湿器件中的应用进展

王亮^1,2，段俊萍^1,2，王万军^1,3，张斌珍^1,2

1. 中北大学电子测试技术重点实验室2. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室3. 路易斯安那州立大学机械工程系

摘 要：介电材料的选择以及介电层的制备是介电润湿器件制作工艺中最关键的部分,在介电润湿器件中,介电层不仅是其重要组成部分,也是影响器件实用性能和具体应用领域的关键。首先简述了介电润湿驱动的原理以及介电材料的选取原则,然后在结合国内外该领域研究现状的基础上对已报道的介电材料在各类介电润湿器件中的应用实例进行了归纳,最后对目前介电材料在应用中出现的问题以及解决方法进行了讨论。

关键词：介电材料;介质上电润湿;微流控;液体透镜;