多晶硅锭凝固过程的影响因素分析及数值模拟
来源期刊：有色金属2003年第1期
论文作者：林安中 刘秋娣
关键词：材料科学基础; 多晶硅锭; 数值模拟; 凝固; 固-液界面;
摘 要：采用数值模拟方法研究几何参数及热量变化对多晶硅锭凝固过程固-液界面形状和温度梯度的影响.分析表明,随固化量的增加,温度梯度先快速下降之后趋于常量.在冷源半径保持相对较小值的条件下,界面曲率出现最大值.冷源半径如果相对较大,界面曲率一直呈上升趋势.增大石墨托底的厚度和坩埚的厚度使界面曲率下降.倘若增大石墨托侧壁的厚度则界面曲率增大.因此采用底部较厚的石墨托有利于获得较小的界面曲率.
林安中1，刘秋娣1
(1.有色金属研究总院,北京,100088)
摘要:采用数值模拟方法研究几何参数及热量变化对多晶硅锭凝固过程固-液界面形状和温度梯度的影响.分析表明,随固化量的增加,温度梯度先快速下降之后趋于常量.在冷源半径保持相对较小值的条件下,界面曲率出现最大值.冷源半径如果相对较大,界面曲率一直呈上升趋势.增大石墨托底的厚度和坩埚的厚度使界面曲率下降.倘若增大石墨托侧壁的厚度则界面曲率增大.因此采用底部较厚的石墨托有利于获得较小的界面曲率.
关键词:材料科学基础; 多晶硅锭; 数值模拟; 凝固; 固-液界面;
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