(Ti,Al,Cr)N膜系的研究进展
来源期刊：材料保护2021年第3期
论文作者：刘聪 张钧 张热寒 李宁
文章页码：131 - 136
关键词：(Ti,Al,Cr) N系硬质膜;抗氧化性;耐腐蚀性;显微硬度;抗摩擦磨损性能;
摘 要：总结了（Ti,Al,Cr） N膜系的沉积方法并讨论了化学成分、N2流量以及基底偏压等工艺参数对薄膜产生的影响,针对（Ti,Al,Cr） N膜系的相组成与膜层成分、抗氧化性、耐腐蚀性、显微硬度、抗摩擦磨损性能以及膜基结合力等方面进行了详细阐述。在此基础上,对（Ti,Al,Cr） N膜系的未来发展进行了展望,以期为多组元氮化物硬质膜的研究提供参考。
刘聪1，张钧1，张热寒2，李宁2
1. 辽宁省多组硬质膜研究及应用重点实验室2. 沈阳大学机械工程学院
摘 要：总结了（Ti,Al,Cr） N膜系的沉积方法并讨论了化学成分、N2流量以及基底偏压等工艺参数对薄膜产生的影响,针对（Ti,Al,Cr） N膜系的相组成与膜层成分、抗氧化性、耐腐蚀性、显微硬度、抗摩擦磨损性能以及膜基结合力等方面进行了详细阐述。在此基础上,对（Ti,Al,Cr） N膜系的未来发展进行了展望,以期为多组元氮化物硬质膜的研究提供参考。
关键词：(Ti,Al,Cr) N系硬质膜;抗氧化性;耐腐蚀性;显微硬度;抗摩擦磨损性能;
