基于干共混法控制柔性模板上金属薄膜微裂纹形貌

田波，叶向东

西安建筑科技大学机电工程学院陕西省纳米材料与技术重点实验室

摘 要：以500 nm的SiO₂纳米粒子为填料,聚二甲基硅氧烷（PDMS）为包覆纳米粒子的聚合物,通过一种新颖的干共混法制备了SiO₂纳米粒子含量高达83.8wt%的SiO₂/PDMS柔性模板。所制备柔性模板的弹性模量为16.58 MPa,热膨胀系数为96×10-6/℃,较SiO₂直接掺入PDMS中湿共混制备的纯PDMS柔性模板,弹性模量提高了91.56%,热膨胀系数降低了69.23%,且该柔性模板具有良好的透明度。最后,在柔性模板表面采用磁控溅射法沉积银薄膜,利用SEM和AFM对银薄膜表面形貌进行表征。结果显示,银薄膜表面光滑,粗糙度很小,且具有良好稳定性。干共混法制备的柔性模板有效抑制了金属薄膜微裂纹的产生,为制造导电性良好的电极及大面积的金属薄膜提供了新方案。

关键词：SiO2/PDMS柔性模板;干共混法;微裂纹;弹性模量;热膨胀系数;