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高矫顽力SmCo(Al,Si)/Cr薄膜的研究

来源期刊:磁性材料及器件2001年第2期

论文作者:胡雪涛 王翔 蔡长波 林更琪 李震 李佐宜

关键词:矫顽力; SmCo(Al,Si)/Cr薄膜; 磁性能; 磁控溅射;

摘    要:通过对磁控溅射条件的优化,制备出了较理想的SmCo(Al,Si)/Cr硬盘磁记录介质。退火处理后又得到较好的硬磁薄膜。结果指出,在Sm含量(摩尔分数)为31.6%,Cr缓冲层为66nm,Sm(Co,Al,Si)5磁性层为30nm的条件下,制得的Sm(Co,Al,Si)5/Cr薄膜的矫顽力Hc为187.8kA/m,剩磁比S=Mr/Ms≈0.94。在500℃退火25min后,矫顽力Hc达到1042.5kA/m,剩磁比S≈0.92。

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高矫顽力SmCo(Al,Si)/Cr薄膜的研究

胡雪涛1,王翔1,蔡长波1,林更琪1,李震1,李佐宜1

(1.华中科技大学电子科学与技术系,)

摘要:通过对磁控溅射条件的优化,制备出了较理想的SmCo(Al,Si)/Cr硬盘磁记录介质。退火处理后又得到较好的硬磁薄膜。结果指出,在Sm含量(摩尔分数)为31.6%,Cr缓冲层为66nm,Sm(Co,Al,Si)5磁性层为30nm的条件下,制得的Sm(Co,Al,Si)5/Cr薄膜的矫顽力Hc为187.8kA/m,剩磁比S=Mr/Ms≈0.94。在500℃退火25min后,矫顽力Hc达到1042.5kA/m,剩磁比S≈0.92。

关键词:矫顽力; SmCo(Al,Si)/Cr薄膜; 磁性能; 磁控溅射;

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