248nm光刻胶用丙烯酸酯共聚物的合成与性能

来源期刊：高分子材料科学与工程2017年第11期

论文作者：徐文佳 郑祥飞 纪昌炜 刘敬成 刘仁 穆启道 刘晓亚

文章页码：1 - 5

关键词：248nm;共聚物;光刻胶;分辨率;

摘    要：以对乙酰氧基苯乙烯（ASM）、丙烯酸叔丁酯（TBA）、丙烯酸四氢呋喃酯（TA）和2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯（MAM）为单体,偶氮二异丁腈（AIBN）为引发剂,通过自由基聚合制备了不同MAM含量的丙烯酸酯类共聚物P（ASMco-TBA-co-TA-co-MAM）（PATTM）,加入一定量的甲醇钠和甲醇进行醇解,制得丙烯酸酯类共聚物PATTM-A。用傅里叶变换红外光谱、核磁共振氢谱、凝胶渗透色谱、差示扫描量热法等方法对共聚物PATTM和PATTM-A的结构与性能进行了表征;以PATTM-A为基体树脂配制了光刻胶,利用扫描电子显微镜测试了光刻胶分辨率。结果表明,随着MAM含量升高,PATTM-A的相对分子质量下降,玻璃化转变温度升高,耐碱性增强,所制备的光刻胶分辨率可达0.5μm。