悬浮转子式微陀螺技术关键、创新设计和最新进展
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第3期
论文作者：赵小林 肖奇军 马高印 吴校生 黄晓刚 崔峰 陈文元 张忠榕 刘武 张卫平
关键词：悬浮转子微陀螺; 技术关键; 方案; 最新进展;
摘 要：分析了悬浮转子式微陀螺基本原理、技术技术要害,并综述了悬浮转子微陀螺多种方案的最新研究进展.
赵小林1，肖奇军1，马高印1，吴校生1，黄晓刚1，崔峰1，陈文元1，张忠榕1，刘武1，张卫平1
(1.上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030)
摘要:分析了悬浮转子式微陀螺基本原理、技术技术要害,并综述了悬浮转子微陀螺多种方案的最新研究进展.
关键词:悬浮转子微陀螺; 技术关键; 方案; 最新进展;
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