传感器固有频率和阻尼对冲击加速度检测的影响
来源期刊：功能材料与器件学报2003年第2期
论文作者：陆德仁 王钻开
关键词：冲击加速度; 固有频率; 阻尼;
摘 要：研究了硅微机械高 g(g为重力加速度 )加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的 影响.传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的响应波形包含传感器共振波,造成测量干扰. 采用有适当阻尼,固有频率高的双质量块结构高 g加速度传感器,进行接近 2万 g加速度峰值的 一系列落杆冲击实验,都未见共振响应.同样的传感器制作成欠阻尼,进行实验时,发现共振干扰. 该实验所用的传感器芯片面积小,固有频率高,调整该结构的弹性梁厚度,可制作量程为 2× 103g～ 2× 105g的加速度传感器.
陆德仁1，王钻开1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050)
摘要:研究了硅微机械高 g(g为重力加速度 )加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的 影响.传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的响应波形包含传感器共振波,造成测量干扰. 采用有适当阻尼,固有频率高的双质量块结构高 g加速度传感器,进行接近 2万 g加速度峰值的 一系列落杆冲击实验,都未见共振响应.同样的传感器制作成欠阻尼,进行实验时,发现共振干扰. 该实验所用的传感器芯片面积小,固有频率高,调整该结构的弹性梁厚度,可制作量程为 2× 103g～ 2× 105g的加速度传感器.
关键词:冲击加速度; 固有频率; 阻尼;
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