压强对射频溅射氧化锌薄膜结构和性能的影响
来源期刊：湖南有色金属2004年第2期
论文作者：苏伟涛 余志明 刘昕 杨莉
文章页码：24 - 81
关键词：氧化锌;透明导电;射频溅射;
摘 要：采用射频溅射方法在聚脂 (PET)胶片上沉积ZnO∶Al薄膜 ,实验结果表明沉积压强对氧化锌透明导电薄膜的表面形貌、结构、光电性能等有较大的影响 ,在低的沉积压强下薄膜具有很好的(0 0 2 )结构 ,有优良的光、电综合性能。同时详细讨论了影响结构和性能的诸因素。
苏伟涛，余志明，刘昕，杨莉
摘 要：采用射频溅射方法在聚脂 (PET)胶片上沉积ZnO∶Al薄膜 ,实验结果表明沉积压强对氧化锌透明导电薄膜的表面形貌、结构、光电性能等有较大的影响 ,在低的沉积压强下薄膜具有很好的(0 0 2 )结构 ,有优良的光、电综合性能。同时详细讨论了影响结构和性能的诸因素。
关键词：氧化锌;透明导电;射频溅射;
