物理气相沉积制备锂离子电池正极薄膜研究进展

赵灵智¹，胡社军²，李伟善³，李黎明¹

(1.广东工业大学材料与能源学院,广州,510006;
2.华南师范大学物理与电信工程学院,广州,510631;
3.华南师范大学化学与环境学院,广州,510631)

摘要:薄膜锂离子电池是锂离子电池发展的最新领域,正极材料的薄膜化是薄膜锂离子电池的重要部分.综述了近年来国内外物理气相沉积在薄膜锂离子电池正极薄膜方面的研究新进展,着重介绍了射频磁控溅射、脉冲激光沉积、电子束沉积等制备技术的工作原理、特点及发展,并对这些制备技术在锂离子电池正极薄膜制备中的应用进行了分析、比较和评价.

关键词:锂离子电池; 物理气相沉积; 正极薄膜;

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